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洁净室(无尘室)清洁

2018-06-13 13:09:47
  人们常常会听到这样的说法:“洁净室中的污染又看不见,没什么好清洁的。”“清洁前与清洁后的洁净室都一样干净,所以不需要清洁”。这两种说法反映了对洁净室清洁维护工作的一般态度。洁净室并不仅仅是工业生产活动的一个一般的组成部分,洁净室就是而且也应当被看作是整个生产系统的中心部分,因为一系列关键工艺步骤必须在其中进行。那么究竟有没有必要对洁净室进行定期的清洁维护呢?
在讲到清洁维护的重要性之前,我们先在认识一下洁净室中的四大污染来源:
★ 洁净室中的工具设备在运转的过程中会向洁净室空间扩散粒子
★ 洁净室中的产品也会向洁净室空间扩散粒子
★ 洁净室中的设施,例如地面、墙面、天花板等,一刻不停地扩散着粒子
★ 洁净室中的人员是污染的主要来源,洁净室中的污染有80%都来自于人员散发的粒子
  既然洁净室有这么多污染来源,为什么洁净室“看上去”还那么干净呢?那是因为我们肉眼只能看到粒径大于50um的尘粒,需要用显微镜才能看到小于50um的尘粒。(如下图所示)而对于许多精密制造业来说,例如芯片制造业,任何大于0.1um的尘粒都会对产品造成危害。此时,就需要通过洁净室和污染控制技术来达到合格的生产环境。
  我们知道,洁净室可以通过送风系统达到自净的目的,但是通过循环风系统只能去除一部分污染,仍会有大量的污染物在重力作用和布朗运动的作用下造成堆积。堆积在表面的污染物并不是静止不动的,污染物会通过表面直接或通过空气和人员等媒介间接地与产品发生“接触”,这种“接触”就会对产品造成污染,导致产品不良。
  此时,对洁净室进行定期的清洁维护就显得非常有必要了。我们进行清洁维护的目的首先在于去除污染,已达到洁净室设计建造时预期的洁净度,但最终还是为了保护我们的产品不受污染,提高产品的优率。因此,我们可以将洁净室清洁维护定义为:“从洁净室内或洁净区内重要性各不相同(对洁净度而言)的表面,释放出所有不希望的污染物,并把它们收集起来清除掉。”
  我们可以把清洁工作分为两大范畴,预防性清洁和主动清洁。预防性清洁就是,防止产生污染物及防止外部环境的污染物传入到洁净室环境,或者使其达到最小;防止污染物在关键区域中扩散。为主动清洁所采取的全部准备措施,也属于预防性清洁。而主动清洁则是将污染物从关键区域中释放出来。这里,我们重点讲一下主动清洁的方法和原则。
  根据所使用的工具不同,主动清洁的方法可以分为干法和湿法。干法就是使用真空吸尘器,或者是干的工具或粘着方法进行清洁。使用干法只能去除部分尘粒,粒子越小,其附着在表面的力就越大,并且粒子附着在表面的时间越长,就越难以将其清除。湿法清洁是对干法的有效补充。附着在表面的较小
粒子,很难用真空吸尘器吸走,因为真空吸尘器达不到清除粒子所需的风速。此时,使用无尘拖把或无尘布配合清洁溶剂进行清洁就能有效地去除污染。同时,为了避免交叉污染,清洁时还应遵循从上到下,从里到外的清洁原则,并采用直线方向部分重叠的擦拭方法。
     总之,定期对洁净室进行清洁维护对于洁净室性能的维持有着重要的意义。作为洁净室工作者,一定要重视这项看似简单的工作。
 
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